Optics Japan 2003
9pA3 岡部 聡志
ブロックゲージ干渉測定システムの精度評価
ブロックゲージを密着させた干渉計に、赤、黄、及びその2色を合成したHe-Neレーザ光を順に入射させ、干渉じまの強度分布を測定し、合致法、合成波長法の2手法でその段差を計算し、それぞれの有効性と精度を評価した。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics