Optics Japan 2003
8pF10 粟野 春之
ダイシング加工によるリッジ型光導波路作製の検討
高性能光デバイスを実現する上で、リッジ型光導波路は重要である。ダイサ-を用いて、ブレードの選択、切断速度を中心に条件を検討した結果、幅5μm以下、深さ20μm程度の平滑で矩形の光導波路を得た。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics