Optics Japan 2003

8pA8 高田聡

AFセンサーのパターン依存信号解析

光テコ方式AF検出において被検物のパターンが微細化すると大きく発生するフォーカス誤差は、被検物の反射係数の角度依存性に起因することを調べ、誤差量の解析結果と実測値の相関関係が得られた。

Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics