Optics Japan 2003
8pA7 天神林 孝二
リニアステージの真直度計測とプロファイラへの応用
レーザービームの直進性を利用し、二組の平行二面鏡と直角三面鏡を用いて、直進ステージの真直度誤差を計測する方法について述べる。さらにそれをプロファイラ(形状測定器)に応用する例について述べる。後者では、まずプロファイラのプローブを直線状に走査させて形状を求め、次に走査の際に生じた真直度誤差を補正する。このようにして対象が長いものや面積の広い形状の計測においても、より高い計測精度が実現できることになる。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics