Optics Japan 2002
Jaromir Pistora、Jan Mistrik、Jaroslav Vlcek、Masahiro Horie、青山満、山口十六夫
平面周期構造の分光エリプソメトリ
電磁波と平面周期構造との相互作用を結合波の方法で定式化した。一次元および二次元格子の分光エリプソメトリ角(Ψ、⊿)を波長240nmから700nmの間で計測した。理論計算結果と測定結果を比較し、詳細な解析を行った。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics