Optics Japan 2002

○片岡俊彦、押鐘寧、中野元博、井上晴行

微小突起型近接場光学顕微鏡(1)─３次元電磁場境界要素法によるプローブ設計─

走査型近接場光学顕微鏡の走査性能の向上に向けて、波長以下のサイズの微小突起型プローブ周辺の電磁場シミュレーションを３次元電磁場境界要素法により行なった。この結果より、優れた走査特性が期待できるプローブパラメータについて説明する。

Optical Society Of Japan
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