Optics Japan 2002
○近藤 清志、石渡 裕、伊藤 雅英、谷田貝 豊彦
位相変調型微分干渉顕微鏡を用いた微小段差計測Ⅲ (標本の回転誤差の解析)
これまで我々は測定の感度に影響すると考え、シェアー方向と試料の段差が直行するようにセッティングしていた。今回は試料の角度を変えて測定、解析を行い、ある程度の角度までは測定可能であることを確認した。
Optical Society Of Japan
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