Optics Japan 2002
○金森義明、阿部良、佐々木実、羽根一博
XeF2ドライエッチングを用いたエアギャップ可変ファブリー･ペロ型波長選択フィルターの製作
反射波長選択を目的としたエアギャップ可変フィルターを製作した。犠牲層に多結晶シリコンを用いてXeF2ガスによりシリコン等方性ドライエッチングを行うことにより、生産性が高く精度の良いフィルターを製作することができた。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics