Optics Japan 2002


○横溝 雄一、小林 宏明、石丸 伊知郎、橋口 原

MEMSの６自由度位置姿勢計測技術

本研究は、MEMS技術により作成した微小グリッパーの６自由度位置姿勢計測技術に関するものである。回折光分布の変化を計測する手法と、フォラストンプリズムを用いた近接２点共焦点変位計測手法について述べる。


Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics