Optics Japan 2002
○平井 亜紀子、松本 弘一
二次元ヘテロダイン低コヒーレンス偏光干渉計による三次元形状計測
我々は、モードロックフェムト秒レーザーを光源とし、タンデム型干渉計と二次元検出器とを組み合わせて、並列にヘテロダイン信号を測定する光学系を開発している。今回、干渉縞のコントラスト向上のための二次元ヘテロダイン低コヒーレンス偏光干渉計を構築し、低反射率物体を測定した。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics