Optics Japan 2002
○古谷雅、藤原久利
反射型モアレを用いたガラス表面のうねり計測
モアレを用いた平坦度計測装置において、LCDガラス基板の表面の微小なうねりを観測することができた。講演会では微小なうねりを測定するために必要な測定方法について報告する。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics