Optics Japan 2003
9pA7 瀧川 雄一
ゾーンプレートを用いた非球面計測技術の開発
高精度な非球面形状計測法としてヌル干渉法が知られている.我々は,ヌル素子として大口径ZPを用い,ZPの誤差を較正する.新たな手法を考案することにより,0.001λrms以下の精度を得る見通しが得られたので報告する.
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics