Optics Japan 2003
9aP18 岩田 耕一
ステージの位置･姿勢計測用多方向干渉計システムのパラメータ同定法
移動ステージの位置･姿勢を精度よく計測する方法として、ステージ上に固定した複数個のコーナーキューブの動きを干渉計で計測し
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics