Optics Japan 2003
9aP11 大村 耕平
面発光型半導体レーザを用いた光周波数掃引型測長干渉計
従来の端面発光型半導体レーザに比べ、面発光型レーザはより広帯域な周波数連続掃引が可能である。周波数掃引方式の測長干渉計にこの特徴を利用し、さらにブロックゲージ長との長さ比較を行うことで、より良好な分解能、正確さを得ることができる。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics