Optics Japan 2003

8pG4 公家大裕

ステッパ-投影レンズの瞳結像 -理論と設計-

･瞳結像を考慮した収差論に基づいたステッパー投影レンズ成立条件の先駆的な研究がある。昨今の強い微細化への要求にたいして、投影レンズの絞りの可変性を考える必要が今後出てくるであろう。ステッパー投影レンズでは、視野内で均一な解像度を得るためにNAの変化は1%程度でなければならない。またフォーカスずれによる歪曲収差の発生を抑えるためにテレセン性は1mrad程度が必要である。そこでわれわれは、絞りの結像(瞳結像)の理論を見直し、さらに実際に投影レンズ設計を試み、理論の正当性を確認した。

Optical Society Of Japan
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