Optics Japan 2003
8pG12 増田 修
曲面への電子ビーム描画による光学素子用金型の作製技術
曲面上に微細構造を有する金型を製作する技術を開発中。今回、電子ビーム描画技術を応用してブレーズ型回折格子を持つ曲面金型を製作し波面収差5mλ、成形品の回折効率は90%以上を得たのでこれを報告する。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics