Optics Japan 2003
8pC4 高野 雄介
電流検出可能な近接場光学顕微鏡によるEC薄膜のナノスケール劣化過程の観察
近年 電子デバイスはますます微細化し、更なる高精度化が要求されている。これらのデバイス及び薄膜材料評価法としてSPMは大変有効な測定応の一つである。 我々は光エレクトロニクスにおける機能材料において局所領域での光と電子の振舞いが同時測定できる導電性SNOMを開発し、この装置を用いて表示デバイスへの応用が期待されているエレクトロクロミック薄膜測定を行ってきている。本報告ではこのEC膜の寿命に関連が深い劣化過程の高分解能観察測定結果について報告する。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics