Optics Japan 2003
8pA9 楠澤 英夫
パーシャルコヒーレント光、輪光帯照明による微粒子撮像とその限界に関する検討について
材料分野の高機能化、高性能化により微粒子大容量個別形状計測はより微細化が求められている。そこで、パーシャルコヒーレント光及び輪帯光照明によるMTF高周波特性改善により微粒子輪郭のより鮮明撮像を検討した。その結果、微粒子(0.3μm-0.1μm)のインコヒーレント光源+通常照明に比較して輪郭鮮明度の高い微粒子撮像の可能性が確認できた。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics