Optics Japan 2003



8aP11 大谷 幸利

157nm領域におけるミュラー行列ポラリメータ(第2報)

次々世代のリソグラフィとして157nmを光源の利用が期待されている。ここでは主に光学素子材料である蛍石の光学特性を評価するために真空紫外領域のミュラー行列偏光計を試作した。この偏光計は偏光子,四分の一波長板,測定試料,四分の一波長板と検光子からなる光学系とし,2つの四分の一波長板を1:5で同期させて回転したときの光強度からミュラー行列を解析した。実際に蛍石の複屈折を求めたので報告する。



Optical Society Of Japan
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