Optics Japan 2002
○山内 真
高速位相変調法を用いた干渉計による空気揺らぎの測定
加工現場等、測定環境の悪い場所でも精密な計測が可能な光干渉計の開発が望まれている。参照光に十分高い周波数の位相変調を行い、空気揺らぎがある状況でも干渉縞の位相を高精度に読み取ることが可能な干渉計を提案する。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics