Optics Japan 2002


○山田 雄一、陳 軍、遠藤 潤二、藤田 博之

複プリズムの横移動を用いた透過型干渉顕微鏡の誤差解析

我々は複プリズムの横移動を用いた透過型干渉顕微鏡を開発し、光導波路の屈折率分布の計測を行っている。本講演では、開発したシステムの位相計測の誤差原因を系統的に解析した結果を報告し、ゲルマニウム添加光導波路の計測結果を述べる。


Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics