Optics Japan 2002
○齋藤 昇平、D.S.MEHATA、坂野 洋平、宮本 洋子、武田 光夫、黒川 隆志
音響光学チューナブルフィルタを用いたミラウ型スペクトル干渉顕微鏡
ミラウ干渉顕微鏡対物レンズをスペクトル干渉計測に使うために不等光路長条件で用い、光源の有限なコヒーレンス長を有効に利用し、計測レンジを向上させた３次元形状計測法の提案。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics