Optics Japan 2002
○小川 雄一、洲之内 啓、田代 英夫
波長走査干渉計を使った傾斜面測定
波長走査干渉計による傾斜面の形状計測において、対象物の表面状態と、測定される信号強度との関係を明確にすることで、測定限界を明らかにする。さらには、形状適応性を高めるための知見について論じる。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics